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J-GLOBAL ID:201602014282277938 整理番号:71A0243200
拡款炉制御
Diffusion furnace control.
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著者 (2件):
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資料名:
IBM Tech Disclosure Bull (IBM Technical Disclosure Bulletin)
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巻:
12
号:
9
ページ:
1437-1438
発行年:
1970年
JST資料番号:
E0292B
ISSN:
0018-8689
CODEN:
IBMTA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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ライナーを使った拡散炉において,従来ヒータ側にしか設置しなかった熱電対を.新たに水晶反応管側にも付加した方式の温度制御については述べた;写図2
シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
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