抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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航空機のタービンの性能向上には,燃料制御系に高い精度,信頼性,長いライフ,低いコスト,より多くの制御パラメータが要求される。そのためには,多くの機能を電子化せねばならず,すべての要求を満たすには,マイクロモジュールが最適である。さしあたりシリコンを母体にした不純物半導体による固体電子パッケージでアナログ型またはディジタル型あるいは両者混合のマイクロ装置が,特に電子ビーム処理による自働製法で実理吐を生じた。装置は耐高温性が大で,直接燃料コントロールの一部として組込まれる。全ての要求を満たし,大巾の外形,重量の軽減が実現される;写2図18表1