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J-GLOBAL ID:201602014779384096   整理番号:64A0063230

非接触精密測定にマイクロ波技術を応用

The application of microwave techniques to noncontact precision measurement
著者 (1件):
資料名:
巻: 63WA346  ページ: 1-5  発行年: 1964年 
JST資料番号: A0478A  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: アメリカ合衆国 (USA) 
抄録/ポイント:
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測定系の限界,理想的測定装置に望まれる特性を説明し,非接触測定装置がその条件を満足する基本的な測定装置であることを述べる.空気マイクロ,X線厚み測定器,などがこの種類に入るが,ここではマイクロ波利用の厚みおよび距離測定の原埋と装置を説明し,測定対象の物理的性質によるマイクロ波利川測定装置の特性変化を述べる;図10
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