抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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測定系の限界,理想的測定装置に望まれる特性を説明し,非接触測定装置がその条件を満足する基本的な測定装置であることを述べる.空気マイクロ,X線厚み測定器,などがこの種類に入るが,ここではマイクロ波利用の厚みおよび距離測定の原埋と装置を説明し,測定対象の物理的性質によるマイクロ波利川測定装置の特性変化を述べる;図10