抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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MOSトランジスタの表面電荷を調べるために,pおよびn形Siを用いてC-V測定を色色の条件下で行なった。Si酸化被膜上に燐酸ガラスをつけると,バンドの近傍に大くの表面状態を作る。状態の緩和時間はn,p形に幾らか依存するが大体10
-8secであった。湿ったN
2ガス中450°Cの熱処理によって,表面状態は相当減少し,アクセプタに較べてドナー状態の方が著しい。また表面の電荷移動によるC-V曲線のヒステリシス効果も観測され,直流バイアス(20~50V)をかけて熱処理するとやはり減少する。燐酸ガラス膜をつけたものがこの効果は著しいことがわかった;図9表1参27