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J-GLOBAL ID:201602014893107736   整理番号:66A0200289

MOS構造の容量一電圧曲線に及ぼす表面電荷の影響

Influence of charge interactions on capacitance ver sus voltage curves in mos structures
著者 (1件):
資料名:
巻: 20  号:ページ: 562-577  発行年: 1965年 
JST資料番号: D0313A  ISSN: 0031-7918  CODEN: PRREA   資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: オランダ (NLD) 
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MOSトランジスタの表面電荷を調べるために,pおよびn形Siを用いてC-V測定を色色の条件下で行なった。Si酸化被膜上に燐酸ガラスをつけると,バンドの近傍に大くの表面状態を作る。状態の緩和時間はn,p形に幾らか依存するが大体10-8secであった。湿ったN2ガス中450°Cの熱処理によって,表面状態は相当減少し,アクセプタに較べてドナー状態の方が著しい。また表面の電荷移動によるC-V曲線のヒステリシス効果も観測され,直流バイアス(20~50V)をかけて熱処理するとやはり減少する。燐酸ガラス膜をつけたものがこの効果は著しいことがわかった;図9表1参27
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