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J-GLOBAL ID:201602015148340352   整理番号:71A0043345

AlxGa1-xAsエピタクシー層の構造研究

Исслелоеание структуры апитакснааьных слоев AlxGa1-xAs.
著者 (6件):
資料名:
巻: 16  号:ページ: 247-248  発行年: 1971年 
JST資料番号: R0058A  ISSN: 0023-4761  CODEN: KRISA   資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: 旧ソビエト連邦 (SUN)  言語: ロシア語 (RU)
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試料は,水素流のもとでの液体エピタクシー法によって得た。基板には(100)配向のガリウムひ素を使った。エピタクシー層の構造の完全度は,電子回折法とX線回折法によって調べたo得れたデータは.アルミニウムひ素が多いエピタクシー層は,それが少ないものよりも完全度が悪いことを示している;写図2参2
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