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J-GLOBAL ID:201602015384561122   整理番号:74A0006465

鏡面物質用高精度反射計の評価

Evaluation of a high accuracy reflectometer for specular materials.
著者 (2件):
資料名:
巻: 12  号: 10  ページ: 2454-2460  発行年: 1973年 
JST資料番号: B0026B  ISSN: 0003-6935  CODEN: APOPAI  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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0.3~15,0μm波長域で,鏡面物質の分光反射率を高精度で測定する方法を述べる。反射計の性能を評価し,蒸着アルミニウム薄膜についての結果を,この反射計設計の基礎としたBennett-Koehler装置によるものと比較した。レーザ鏡のような高反射率については4分の1の精度が得られる;写図4表3参20
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