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J-GLOBAL ID：201602015457990183   整理番号：71A0014076

電子計算機で制御された電子線によるマスク製作機械

A computer controlled electron mask maker.

著者 (1件)： BEASLEY J P
資料名： Proc Symp Electron Ion Be  (Proceedings of the Symposium on Electron and Ion Beam Science and Technology)
巻： 4  ページ： 515-523  発行年： 1970年 
JST資料番号： E0770A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 集積回路の最終的な形において。その輪郭が明りょうに定められるために電子計算機で制御された電子線によってそのマスクを製作する電子線応用の機械である。50mm2のマスクを作るためにガラスの上にクロムを蒸藩し.その上に蒸着された抵抗体の上に電子線を照射した。速さと自動化に重点がある。装置の全形.電子走査系,電子偏向増幅装i置を図示;写図5参1

シソーラス用語： 集積回路
準シソーラス用語： 電子線加工機 ,  電子線偏向装置

タイトルに関連する用語 (4件)： 電子計算機 ,  電子線 ,  マスク ,  製作