抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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高真空を得るための拡散ポンプ,液体窒素を用いる真空ポンプ,ターボ分子ポンプなどについて到達可能の真空度,温度制限,および真空状態持続時間について述べ,超真空ポンプとして2段式真空ポンプ,ターボ真空ポンプ(16000rpm,10
-9Torr)の構造と性能を述べ,イオン利用ポンプの最近の技術的進歩としてのWおよびTi線付高圧ガラス製ポンプ,ダイオード利用のポンプについて解説し,最後に超高真空実験ポンプ用の水銀ポンプを説明した;写4 図5 参6