抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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プリント配線パターンのような複雑なパターン中の傷を認識する方法を述べている。この方法では二次元非線形論理フィルタリングを用いている。最初に全画面中から一部分をとり出し,サンプリングにもとずぐ微小な不規則部を消去する。真の欠陥部を発見するためにパターン整合を用いているが,標準パターンはあらかじめ用意しておくのではなく,疑似標準パターンを入力パターンから創成することが特徴であり,このため位置ぎめの問題がなく,標準パターンメモリーが不要である。本手法の効果と,試作装置の構成について述べている;写図14参2