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J-GLOBAL ID：201602015807632250   整理番号：71A0013393

ステップ・アンド・リピートカメラ

The step-and-repeat camera.

著者 (8件)： ALLES D S ,  ELEK J W ,  HOWLAND F L ,  NEVIS B ,  NIELSEN R J ,  SCHLEGEL W A ,  SKINNER J G ,  STOUT C E Jr
資料名： Bell Syst Tech J  (Bell System Technical Journal)
巻： 49  号： 9  ページ： 2145-2177  発行年： 1970年 
JST資料番号： B0062A  ISSN： 0005-8580  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本報は新しい高精度の標記カメラ(同じ画面をマトリックス状に並列撮影できるカメラ)の光学系.機械的機構.制御系。制御計算機プログラムについて述べた。集積回路のフォトマスクを作成するためには,このステップ・アンド・リピートカメラが必要である。本カメラの撮影レンズのX-Yの方向のステージの移動は精度を必要とするので,の一ザ光を用いた干渉計による移動距離測定装置を組込んだ。移動ガイドには空気ペアリングを用いた。X-Yステージの位置合せは計算機によって行なう;写図20参3

シソーラス用語： フォトマスク ,  干渉計 ,  集積回路
準シソーラス用語： ステップ・アンド・リピートカメラ