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文献
J-GLOBAL ID:201602016006302689   整理番号:60A0103241

シリコンの垂直型ゾらン精製装置

Dirizoni pro svislou zonila reined. kremiku.
著者 (1件):
資料名:
巻: 49  号: 11  ページ: 565-569  発行年: 1960年
JST資料番号: C0408A  CODEN: EKOBA   資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 旧チェコスロバキア (CSK) 
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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CKDで開発されたシリコンの自動的な垂直型ゾーン溶融装置の性能につき述べる.この論文で取扱う事項は,とけたゾーンの形状の変化,適当な形状を保持するための補正の方法,使用する試料の比抵抗と誘導加熱との関係の簡単な解析,半導体装置の製造会社で使うシリコン用の自動的連続運転装置の機能,などである.シリコンでは石英ボートが便えないのでこの浮遊溶融法が用いられるが一度に1つのゾーンしか作られないことと,温度を上げすぎると試料棒が切れてしまうのが難点である
タイトルに関連する用語 (3件):
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