抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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フォトレジストで正弦波格子を作り,この格子の回折効率を入射角,波長,回折次数,格子の表面に蒸着した金属をパラメータとして測定した。測定はWood異常の領域で行なった。その結果,強い吸収差と表面プラズモンによる弱い再放射が観察された;写図8参14