抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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微量希ガスの同位体存在比を測定する目的で軌道半径20cm,偏向角90°超高真空型質量分析計を製作した.主排気系は40l/secのチタンゲッターポンプ,ケミソープションポンプおよび廻転ポンプより成り分析計および排気系の主要部分を350°Cで加熱排気することができる.最高致達真空度は約5×10
-9mmHgである.静作動方式によりアルゴンおよびキセノンの同位体組成を測定し測定感度として1.5×10
-10/10
-5mlSTPAr
38および5×10
-10A/10
-7mlSTPXe
129を得た.但しキセノンの測定にはCu-Be(3%)板を使用した6段の二次電子増倍管を使用した.また二次電子増倍管を使用してm/e=136までのバックグラウンドの特性を報告した.チタンゲッターポンプとケミソープションポンプの組合せによる利点は炭化水素のバックグラウンドを最小に止める点にあるが,これは長期間の測定結果を待たないと明らかでないこと,および同排気系の欠点はアルゴンがポンプ内に蓄積される点にあることを指摘した.
