文献
J-GLOBAL ID：201602016268390341 整理番号：65A0163824
集積素子軌隔離法およびその構造
Isolation method and structure for integrated devices
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資料名：
IBM Tech Disclosure Bull (IBM Technical Disclosure Bulletin)
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巻：
8
号：
4
ページ：
670-671
発行年：
1965年
JST資料番号：
E0292B
ISSN：
0018-8689
CODEN：
IBMTA
資料種別：
逐次刊行物 (A)
記事区分：
解説
発行国：
アメリカ合衆国 (USA)
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