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J-GLOBAL ID：201602016327583973 整理番号：70A0083207
新しい使用分野を目ざすスパッタードコーティング
Sputtered coatings aim for new uses.
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著者 (1件)：
MOCK J A
MOCK J A について
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資料名：
Mater Eng (Cleaveland) (Materials in Design Engineering)
Mater Eng (Cleaveland) について
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巻：
71
号：
8
ページ：
44-47
発行年：
1970年
JST資料番号：
D0027A
ISSN：
0025-5319
CODEN：
MAENB
資料種別：
逐次刊行物 (A)
記事区分：
解説
発行国：
アメリカ合衆国 (USA)
言語：
英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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現在使用されている三つの主要な真空コーティングシステムのうち,スパッタードコーティングはほとんど全ての材料でほとんどすべての材料に対して薄い被膜を施すことから大きな注目を集めている。代表的なスパッタリングシステム,主としてエレクトロニクスの分野に使用されていること,その耐摩耗性,耐腐食について,装飾用に使用された場合などを紹介;写図4
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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