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J-GLOBAL ID：201602016408546010   整理番号：68A0028874

絶縁性走査型電子顕微鏡試料を金属被覆するための回転装置

A rotating device for use in metallizing nonconduct-ing scanning electron microscope specimens.

著者 (2件)： BOULT E H ,  BRABAZON E J
資料名： J Sci Instrum (J Phys E)  (Journal of Scientific Instruments (Journal of Physics E))
巻： 1  号： 2  ページ： 565-566  発行年： 1968年 
JST資料番号： C0354B  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： イギリス (GBR) 

抄録/ポイント： 電気的絶縁物を走査型電子顕微鏡で観察する場合には,試料を,金属被覆する必要がある。ここでは,蒸着法を有効に利用することにより,8枚の試料を同時に金属被覆する方法を述べる。蒸着する際に8枚の試料を円周上に並べ,おのおのを回転させながらこの円周を回転させる。この方法によって,均一に絶縁物の表面を金属被覆することができる。試料数は,もっと増やすことも可能;写図1参2

タイトルに関連する用語 (5件)： 絶縁性 ,  走査型電子顕微鏡 ,  試料 ,  金属被覆 ,  回転装置