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J-GLOBAL ID：201602016433997396   整理番号：64A0167219

超小型薄膜インダクタ

Thinfilm microelectronic inductors.
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著者 (1件)：
GLEASON F R

GLEASON F R について


資料名：
Proc Natl Electron Conf  (Proceedings of the National Electronics Conference)

Proc Natl Electron Conf について


巻： 20  ページ： 197-200  発行年： 1964年 
JST資料番号： H0316A  CODEN： PNECA   資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA) 
抄録/ポイント：
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現在超小型回路技術で一番の問題点は,適当な超小型誘導素子がないことである.この研究で得られた成果は,1McでQ=100に対して38~1000μH,最大表面積0.09in2,最大高さ0.25inの超小型薄膜の製作に成功したということである.製作方法は,フェライト基板に蒸着マスクを用いてコイルをら旋形に800°Cの温度で真空蒸着をする.インダクタンスの値は,ほぼフェライト基板の厚さに比例して増加する.将来の問題としては,インダクタンス,Qの値,周波数特性の改善等あげることができるが超小型回路用誘導素子の第一歩を示すものとして注目できる;図1参6
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薄膜インダクタ

薄膜インダクタ について


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