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J-GLOBAL ID:201602016490597698   整理番号:73A0036426

活性化された反応性蒸発により蒸着した炭化チタンの構造に対する基板温度の効果

The effect of substrate temperature on the structure of titanium carbide deposited by activated reactive evaporation.
著者 (2件):
資料名:
巻:号:ページ: 1389-1394  発行年: 1972年 
JST資料番号: C0789A  ISSN: 0022-5355  CODEN: JVSTAL  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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基板温度によるTic蒸着の微小構造,配向および微小硬さ,蒸着速度などの変化に関する研究;写図7表3参13
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