抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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市販の質量分析器は誘電体の分析,不純物の分析などに。は不適当と思われるので,試験用の新しい装置をつくった。試作機では,多重電子ビームイオン源を用い,イオン化断面積を知る必要をなくした。また四重極質量フィルタを使用した。電子多重イオンコレクタを粒子検出器として用いた