抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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アリント回路製造用のガラスマスタの製法。平滑な透明ガラス基板に,ポリビニルアルコールと塩化パラジウムのコンプレックスを含む溶液を塗布し,無電解めっきをして金属を被せる。ついで通常のフォトレジストを塗布して露光,エッチを行なって希望する金属パターンを得る