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J-GLOBAL ID:201602016748769146   整理番号:71A0241444

ガラスマスタの製法

Preparing glass masters.
著者 (1件):
資料名:
巻: 13  号:ページ: 2474  発行年: 1971年 
JST資料番号: E0292B  ISSN: 0018-8689  CODEN: IBMTA   資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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アリント回路製造用のガラスマスタの製法。平滑な透明ガラス基板に,ポリビニルアルコールと塩化パラジウムのコンプレックスを含む溶液を塗布し,無電解めっきをして金属を被せる。ついで通常のフォトレジストを塗布して露光,エッチを行なって希望する金属パターンを得る
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