抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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Zr合金エッチング用のFH-HWO
3溶液のはいっている浴槽底にZrF
4・3H
2Oの結晶ができるが熱重量分析の結果次の変化をすることがわかった.ZrF
4・3H
2O〓ZrF
4・H
2O〓Zrx(OH)y・F
2〓ZrO
2化学分析,X線回折,化学量論から判断して分解中間物はZr
2(OH)F
7と推測;図2表3参10