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J-GLOBAL ID：201602016995563348   整理番号：71A0036910

rfスパッターグロー放電のプラズマ診断

Plasma diagnostics of an rf-sputtering flow discharge.

著者 (2件)： COBURN J W ,  KAY E
資料名： Appl Phys Lett  (Applied Physics Letters)
巻： 18  号： 10  ページ： 435-438  発行年： 1971年 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ブレーナダイオード放電系の下地面に入射した陽イオンを静電偏向エネルギー分析器と4重極質量分析器で観測した。各種の標的を希ガス放電下でrfスパッターし,質量分析を行うと,標的から中性体として放射されるスバッター原子はPenningイオン化でイオン化されることがわかる;写図4参12

シソーラス用語： グロー放電 ,  スパッタ ,  プラズマ診断 ,  電離

タイトルに関連する用語 (3件)： RFスパッター ,  グロー放電 ,  プラズマ診断