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J-GLOBAL ID：201602017066432464   整理番号：73A0025142

気体放電中での,電子エネルギー分布に対する,弱いRF信号の効果

Effect of weak r.f. signal on the electron energy distribution in a gas discharge.

著者 (2件)： CHIPLONKAR V T ,  GOKHALE V D
資料名： Int J Electron  (International Journal of Electronics)
巻： 35  号： 2  ページ： 251-255  発行年： 1971年 
JST資料番号： C0287B  ISSN： 0020-7217  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 低圧中で,円筒陽極の表面付近の電子エネルギー分布は,弱いRF信号があってもなくても,線形静電界分析器を用いて,申心線と円筒陽極とで決められる。円筒型に制限された低温気体放電プラズマの,RF導電実験で,RF后号が出ると,電子の体積密度と1電子一中性子粒子の衝突ひん度の様に,プラズマパラメータ中に大きな変化が起こることがわかる;写図3表1参5

シソーラス用語： エネルギー分布 ,  プラズマ ,  気体放電
準シソーラス用語： 電子エネルギー

タイトルに関連する用語 (3件)： 気体放電 ,  電子エネルギー分布 ,  RF信号