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J-GLOBAL ID：201602017118813569   整理番号：72A0098654

オンオフサーボ機構によよる触針式表面あらさ測定機について

著者 (1件)： 栗本道彦
資料名： 日本機械学会論文集
巻： 37  号： 300  ページ： 1605-1615  発行年： 1971年 
JST資料番号： F0227A  CODEN： NKGRA   資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本方法は表面あらさ測定にサーボ機構を用いた零位測定法である。1)分解能:針の動きが0.05μあれば判別できる。2)精度:フィードバック歯車別の精度は±0.1μと推定される。総合精度は狭範囲で±0.2μ,10μ以上の広範囲では+0.4μ。3)測定力:約4mgと推定される。なおその他の特長は4)針先はサイクリングごとに表面に少時間接触するのみで表面を引っかくことがない。5)測定値はディジタル値でも得られる。6)スキッドがないから形状誤差も求めうる。7)測定範囲は広く2mm。などである;写図25参5

シソーラス用語： オンオフ制御 ,  サーボ機構
準シソーラス用語： 測定装置 ,  表面あらさ

引用文献 (5件)：

• (1) 春日,精密機械学会誌,35-4(昭44-4),208.
• (2) 栗本,精機学会秋季大会前刷集,(昭42),177.
• (3) Holm, R., Electric Contacts Handbook, (1958), 70, Springer.
• (4) 栗本,制御工学,8-4(昭39-9),175.
• (5) Rank Taylor Hobson社カタログ,Talystep (1968).

タイトルに関連する用語 (3件)： 触針 ,  表面あらさ ,  測定機