抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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シリコン脚接合で降伏特性が鋭くなく,いわゆる”軟かい”特性のものがみられる.その原因は,表面の性質によると考えられるが,表面ばかりのせいでなく,シリコン内部の性質に由来するものがたしかに存在する.このことは,熱処理によって降伏特性が再現性のある変り方を示すことから示される.このモデルは,pn接合の空間電荷領域内にある浅いトラップからの励起の割合が,電場の強さに依存するという考え方である