抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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目盛尺(線基準器)は光波干渉の利用できるプロックゲージ(端面基準器)に比べて位置ぎめの精度が劣る欠点をもっているが,透過照明のできるガラス製目盛尺と目盛刻線を検出する光電顕微鏡を利用することによって,位置ぎめの精度を上げると同時に困難な精密測定を自動化することができる.またこの方法をプロックゲージと目盛尺の自動比較機,目盛尺の自動複製機などに応用することができるが,その原理,機構,実際の装置の構造(自動読取りと数値表示機構など)を解説し,測定精度を検討する;写4図20参42