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J-GLOBAL ID：201602017585288320   整理番号：70A0008827

光学的非接触表面センサー(光プローブ)

An optical.noncontacting surface sensor(optical probe).

著者 (1件)： VYCE J R
資料名： Appl Opt  (Applied Optics)
巻： 8  号： 11  ページ： 2301-2310  発行年： 1969年 
JST資料番号： B0026B  ISSN： 0003-6935  CODEN： APOPAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 対物レンズの光軸に対し,対称な二つの光ピームを被検体表面に集光し,その反射光を再び同じレンズにより,光源スリットの位置におかれた反射鏡により上下それぞれの光検出器に入射させる。この検出器からの信号を電気的に処理することによリレンズと試料面間の莞籠の変動および光軸に対する垂直性を求める。その精度は像の回折・収差,スリットエッジの不完全さ,表面の粗さなどによって・どのように影響を受けるかを調べた。距離の測定誤差は0・1μ以下である;写図8表1参20

シソーラス用語： レンズ
準シソーラス用語： レンス検査 ,  レンズ検査 ,  光プローブ ,  光プローブ(レンズ検査) ,  光学表面検査 ,  光学表面検査(レンズ) ,  表面あらさ ,  表面あらさ(レンズ)

タイトルに関連する用語 (4件)： 光学 ,  接触表面 ,  センサー ,  光プローブ