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J-GLOBAL ID：201602017620263556   整理番号：64A0013039

ほう素を蒸着させるための簡単な電子ボンバード装置

Simple electron bombardment apparatus for evaporat ing boron.

著者 (4件)： ERDMAN K L ,  AXEN D ,  MACDONALD J R ,  ROBERTSON L P
資料名： Rev Sci Instrum  (Review of Scientific Instruments)
巻： 2  号： 1  ページ： 122-123  発行年： 1964年 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA) 

抄録/ポイント： 高抵抗物質である蒸着膜を作るための電子ボンバード装置を作った。炭素の台の上に試料をのせそのすぐ上にフィラメントと焦点に集めるための電極があり,その上に金属バッキングをつけてそこに蒸着するようになっている。ほう素をおく位置によって蒸着の割合がかなり変った

タイトルに関連する用語 (4件)： ほう素 ,  蒸着 ,  電子 ,  バード