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J-GLOBAL ID：201602017640418742   整理番号：65A0008231

光学定数のだ円測光的決定へおよぼす薄い表面膜の影響

Effect of a thin surface film on the ellipsometric determination of optical constants.

著者 (2件)： BURGE D K ,  BENNETT H E
資料名： J Opt Soc Am  (Journal of the Optical Society of America)
巻： 54  号： 12  ページ： 1428-1433  発行年： 1964年 
JST資料番号： C0327A  ISSN： 0030-3941  CODEN： JOSAA   資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA) 

抄録/ポイント： 大部分の金属,半導体の表面にある薄い酸化膜は,検出が困難で,光学定数のだ円測光的決定に重大な誤差をおこさせる.ある場合には,10Åぐらいの膜でも誤差の要因となる.薄い表面膜の検出に,入射角を変えて得るだ円測光の変数(p,s成分の振幅反射率の比および位相差)の変化を用いることはできず,入射角45°でR²_S=R_pなる関係が補助的にのみ有効である;図4 表2 参20

タイトルに関連する用語 (3件)： 光学定数 ,  だ円 ,  測光