文献

J-GLOBAL ID：201602017783025520   整理番号：65A0153338

薄膜コンデンナの選択

Thin-film capacitance elements : which is best for your purpose?

著者 (1件)： SCHENKEL F W
資料名： Electronics  (Electronics)
巻： 38  号： 2  ページ： 67-72  発行年： 1965年 
JST資料番号： B0455B  ISSN： 0013-5070  CODEN： ELECA   資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA) 

抄録/ポイント： 薄膜コンデンナは種々あるが,安定性,再現牲,価格の点でそれぞれ一長一短があるから,目的と考えあわせて最適のものを選ぶ必要がある。SiO,SiO₂,Ta₂O₅,TiO₂,Al₂O₃,アルミナシリケートについて,各種の誘電的性質を比較した。真空蒸着で薄膜コンデンサを作る場合,まず基板に適当なものを選び,かつその表面を十分清浄にして使用する。2個のSiOコンデンサと2個の薄膜トランジスタで構成したパルス増幅回絡についてのべてのべた。真空蒸着における膜厚測定は,膜の干渉出を光電池で検出して測定するのが最も便利である;写2図9表1参6

タイトルに関連する用語 (1件)： 薄膜