抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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プロセス制御に使用される光学機器の設計には,光学的要素,機械的要素,電気的要素を十分検討し,適当に組合せる必要がある。光学的要素として光源,レンズなどの信頼性,ノイズの問題,最近の進歩について記述し,機械的要素として主にチョッパのいろいろな方式を記述している。また,光電池の中心と,光スポットとの偏位に比例した正負の電圧を発生する位置検出光電池の概要および応用分野を述べている;図4参3