抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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熱的洗浄したシリコン(111)面への酸素の吸着をAuger電子分光により,ガス成分を質量分析的に監視しながら・実験した。初期吸着率は.8×10
-4であった。これは10
-5-10
-8Torrまで圧力に依存しない。被覆率に対する吸若係数の依存性を決定し吸着のモデルを考えた。特に注意を要するのはCOでありこれはフィラメントと酸素との相互作用,および排気装置のイオンポンプから出てくる;写図8表2参30