抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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わが国における化合物半導体の中心となるのはオプトエレクト評クス分野で.GaAs,Ga
1-xA1
x,As.GaAs
1-x,P
x,GaPのなどと;外線検知器,ホール素子,磁気抵抗素子としての応用分野をもつ橋bのIIIW族化合物半導体である。現在国産でまかない得る化黛半導体は,GaAs基板結晶とGa
1-x,A1
xAsエピタキシヤル・ウェーハである;写図6表3参6