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J-GLOBAL ID：201602018252248041   整理番号：71A0051155

チタン被膜の酸化

The oxidation of titanium films.

著者 (2件)： MINDEL M J ,  POLLACK S R
資料名： Proc Intern Conf Sci Technol Appl Titanium London  (Proceedings International Conference on the Science, Technology and Application of Titanium 680521)
ページ： 189-197  発行年： 1970年 
JST資料番号： K19680140  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超高真空下(~2×10^-8torr)での蒸着で得られた清浄なチタン表面の酸化の性質をレプリカおよび抽出レプリカ観察で研究した。速い蒸着速度で形成された膜では平板状の酸化膜形成の前に針状の酸化物が形成されるが,蒸着速度の遅い膜では滑らかな板状酸化膜のみが形成される。簡単な板状酸化物や針状酸化物の成長モデルはそれぞれ滑らかな表面膜や粗い膜に対する重量増加の初期の速度と定量的に一致する。酸化の後期段階の厚さ依存性は金属-酸化物界面で発生する金属空格子点の影響を考慮したモデルで説明される。これはまたイオン輸送が陽イオンの酸化物被覆に対する侵入により起ることを決定するために用いた;写図8参7

シソーラス用語： チタン ,  酸化 ,  蒸着
準シソーラス用語： チタン(酸化) ,  酸化(チタン) ,  蒸着(チタン)

タイトルに関連する用語 (3件)： チタン ,  被膜 ,  酸化