抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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少数キャリヤの寿命,絶縁破壊電圧,拡散係数など半導体の諸特性は転位により大きく左右されるので,その位置,形,数を正確に知りさらにこれを自由に制御できることがきわめて望ましい。この内前半の目的を達成する3つの方法を解説する。エッチピット計数法は簡単だが甚だ不正確である。所でGe,Siは1.9μの赤外線に対し透明だからこの波長に感じるビゲコンも顕微鏡と閉回路式TVと組み合わせてCuなどをデコレートした試料を観察するとX線回折顕微鏡で観測したのと全く変らない程正確に転位線の位置,形,数が確認できた
