抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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イオン引き出し部分の寸法の異なる3種の高周波イオン源に関しイオンビーム電流と引き出し電圧特性等の相似則の成立限界を検討その結果を報告。使用イオン源はいずれも竹0neman型の改良型でRF周波数は25MC,径0.4mmのエナメル線7000回捲いたコイルに0.5Aの電流を流して縦磁場を作る。イオン引き出し部分内径2mmのものおよび1.6倍,2倍の3種使用。結果は相似則は厳密には成立せず,引き出しビーム電流はそれに相当する引き出し電圧に対し,寸法の大きいもの程能率が悪い。これら相似則が厳密には成立しない原因等を議論する;図7参4