抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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厚さ200~400AのSiO
2薄膜のシリコンMOS構造に対する放射の効果を電圧容量特性から分析した。 原子炉中心ダクト内での照射では.特性は負電圧側にかたよるが,これは恐らく中性子束に伴うγ線によるイオン化効果が大きいためである。 側面ダクト内照射では正電圧側にかたよるが,これは多分製作時に形成された薄膜内の電子濃度を減少させる,中性子エネルギーによる欠陥の形成作用が大きいためである;写図6参4