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J-GLOBAL ID：201602018421521356 整理番号：64A0091884
II-VIおよびIII-V化合物のエッチング
On the etching of VI-VI and III-V compounds.
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FRAWLEY J J
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HIETANEN J R
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資料名：
J Electrochem Soc (Journal of the Electrochemical Society)
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巻：
111
号：
1
ページ：
22-27
発行年：
1964年
JST資料番号：
C0285A
ISSN：
0013-4651
CODEN：
JESOAN
資料種別：
逐次刊行物 (A)
記事区分：
原著論文
発行国：
アメリカ合衆国 (USA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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エッチピットの形と配向を光学および電子顕微鏡で観察した場合と関連させて光反射像を調べた.像には結晶学的因子の他に速度論的因子が入ってくるので,その影響を考えながら一般的説明を行い.II-VIおよびIII-V化合物に応用した
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