抄録/ポイント:
抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
主要な軍事用システムに使用される高信頼性集積回路で生じる破損モードの機構的理解を得るための調査を行った。この研究によって主要な素子破損モードを同定し破損の特定の部分型への位置づけを行った。分析技術として,放射線写真技術,パッケージ残留ガス分析,電子ビームおよび走査,電子顕微鏡,電気的パラメータ特性化法を用いた。破損率は,正しい動作とプロセス制御の改善によっても小さくできたが,信頼性における大幅な改善は,集積回路破損モードの機構的理解のより精密な網の目を通すことによってのみ実現されることを示した;写図9表2参21