抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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微圧測定用の小型で高感度,速答性を有し,加速度補償されたクリスタル型式の圧力変換器を開発した。受圧部につながる変換部のクリスタルは,両端固定式と一端固定式の2種とし,両者とも加速度と温度補償のためのクリスタルを設け,電気的に反対方向に直列に受感素子と補償素子をつないであり,物理的には両素子は互に独立であるような構造である。半静的および動的圧力較正試験の結果一端固定式の方が感度が高く,受圧部がマイラより銅-ニッケル合金の方が感度は高い。加速度試験は補償クリスタルの有無について振動試験を行ない比較の結果良好な特性を得た;写4図9参7