抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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シクロン以下o加工や測定をする目的0ため,加L変数o少ない半球を加工する超精密機械をつくった。この機・は加工精度からくる要求に合うように特別な配慮がなされている。そo-つとして,Graphi tar G20ポLラスな購造に空気を送り込む空気軸受0使用。ねじo回転運動を工具ヘット’o角運動に変換させ,約212度まで回転できるようになっている。測定装置として干渉計を使用している0で,プロッタゲージ寸法まで測定可能である。この機械で寸法誤差25μin内で半球を加工することができた。機械をつくる時に得られた研究データは,切削現象の解明,空気軸受o設計とその使用など0伊究分野にも用いられる;写10図9表1
