抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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触針法によって機械的に測定した値と.反射光強度分布から求めた値の間の比較を行なった結果の差異は,触針の大きさが限られた大きさしかないこと,しかも比較的大きな凹凸しか再現できないこと,光学的な方法では光の波長を任意にえらべる上機械的な触針より小さい凹凸まで正確な表現が可能なことに起因する;写図1参11