抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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o,sJ/パルスのQスイッチルビーレーザを用いて,薄膜状の固弊物質を照射して,1~10eV領域の強度のパルス状中性原子や分子を生成する方法について述べた。B,F3の複合体ターゲットから60c皿の所での測定で,代表的なバーストから5eVのふっ素原子を1.3×10’原子/ぽノs得た。1~10eVの原子の積分量は,~2×103原子/ぽ1同じような結果がA1やUの薄膜でも得られた;写図6参10・