文献

J-GLOBAL ID：201602019155207698   整理番号：73A0149190

無定形炭素膜の物性

Properties of amorphous carbon films.

著者 (4件)： GRIGOROVICI R ,  DEVENYI A ,  GHEORGHIU A ,  BELU A
資料名： J Non-Cryst Solid  (Journal of Non-Crystalline Solids)
巻： 8-10  ページ： 793-797  発行年： 1972年 
JST資料番号： D0642A  ISSN： 0022-3093  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： けい素基板上に電子ビーム蒸発によって析出させた無定形炭素膜の電気伝導度,圧抵抗,熱電能,光吸収の温度依存性を測定した。析出したままの膜の輸送物性と光吸収から,≧0.65eVのエネルギー擬ギャップの存在が認められた。測定結果は,いずれも炭素原子が三方および四面体結合により相互に結合した模形へと導いた。750°K以上のアニールにより,膜の輸送と光学的性質は多結晶黒鉛ときわめて類似した性質を示し,7-8eVの光吸収ピークはダイヤモンドの性質と一致した。このことから,アニールした膜は黒鉛とダイヤモンド構造をもっと結論できる;写図2参13

シソーラス用語： 温度 ,  光吸収 ,  焼なまし ,  炭素 ,  導電率 ,  熱起電力 ,  熱起電力 ,  薄膜 ,  無定形
準シソーラス用語： エネルギーギャッブ ,  圧抵抗 ,  熱電能

タイトルに関連する用語 (3件)： 無定形 ,  炭素膜 ,  物性