抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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蒸着薄膜を使う場合は物理学上また工学上において多い。最も問題となるのは金属ガスを受ける相手材と,高真空にする必要からくる真空装置である。相手材としてはガラス板を用い十分化学洗浄をして汚染を最大に防いだ。一方油拡散による真空系は油による汚染がありイオンポンプが良い。実際,同じ真空度でも電流密度は大きく,より効果的に膜ができる;写図2参3