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J-GLOBAL ID：201602019274611537   整理番号：65A0018262

蒸着膜における熱的にひき鉛こされるひずみ

Thermally induced strains in veapoated films.

著者 (2件)： VOOK R W ,  WITT F
資料名： J Appl Phys  (Journal of Applied Physics)
巻： 36  号： 7  ページ： 2169-2171  発行年： 1965年 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA) 

抄録/ポイント： 下地と異なった熱膨張係数をもつ多結晶蒸着膜試料で種々な方位を有する場合について熱ひずみとひずみエネルギーを計算した。理論で求めた結果をガラスの下地の上に蒸着させたAuとCuの膜を用いてX線ディフラクトメータによりチェックした。その結果,冷い下地の上に形成する多結晶膜の結晶成長,粘着,弾性定数,X線の回析線のずれを調べる上にこの計算は有用であることおよび蒸着膜を低温・高温で焼きなます際の物性的な変化の計算にも有用なことがわかった;図1表2参7

タイトルに関連する用語 (3件)： 蒸着膜 ,  鉛 ,  ひずみ