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J-GLOBAL ID:201602019515803149   整理番号:59A0001218

薄膜のひょう量および微量ひょう量のための水晶発振子の応用

Verwendung von Schwingquarzen zur Waegung &duenner Schichten und zur Mikrowngung.
著者 (1件):
資料名:
巻: 155  号:ページ: 206-222  発行年: 1959年 
JST資料番号: E0442A  CODEN: ZEPYA   資料種別: 逐次刊行物 (A)
発行国: ドイツ (DEU) 
抄録/ポイント:
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厚み振動の水晶発振子に異物の薄膜をのせると固有振動数が変化することを利用し,薄膜のひょう量を行ない10-10gの精度ではかることができた。精度は,発振周波数の温度依存性で決まり,密度1gcm-3の物質として0.4Åに相当する;図11参10
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