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J-GLOBAL ID：201602019583352554   整理番号：71A0033647

不均一ドープ層の伝導度測定における補正因子の決定

Zur Bestimmung von Korrekturfaktoren bei der Leitfaehigkeitsmessung an inhomogen dotierten Schichten.

著者 (1件)： HARTMANN U
資料名： Phys Status Solidi A  (Physica Status Solidi. A. Applied Research)
巻： 1  号： 1  ページ： 43-51  発行年： 1970年 
JST資料番号： D0774A  ISSN： 0031-8965  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： ドイツ語 (DE)

抄録/ポイント： 伝導度の不均一な物質中のポテンシャル分布を求める方法を提案した。表面(xy面)に関し次の特別な場合を考察した:1)x方向に伝導度変化がある。薄層のシート抵抗,2)z軸方向に変化をもつ半無限大物体と金属プロープ間の拡がり抵抗,3)x,z方向に変化をもつ半無限大物体における電流供給のためのポテンシャル分布,を計算した。指数関数型の伝導度変化について解析的解を求めた;写図5参19

シソーラス用語： 電位分布
準シソーラス用語： シート抵抗 ,  電気伝導率

タイトルに関連する用語 (4件)： 不均一 ,  ドープ ,  伝導度 ,  補正因子