抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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30Siの熱中性子捕獲とそれに伴う核変化(
31Pを形成)によってけい素中にドナーを形成する,大きい原子炉中で照射すれば,線束が一様だから一様にドープされたN形けい素を調製できる,照射などによる破壊は600°C附近での焼きなましで除かれる,この方法で5cmの領域で±5%以内で一様な抵抗(0.1~20Ωcm)をもつ結晶を得た