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J-GLOBAL ID:201602019728089571   整理番号:70A0029864

GaAsの積層欠陥の熱消滅機構

Mechanism of thermal annihilation of stacking faults in GaAs.
著者 (2件):
資料名:
巻: 41  号:ページ: 2358-2365  発行年: 1970年 
JST資料番号: C0266A  ISSN: 0021-8979  CODEN: JAPIAU  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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液相からエピタクシー成長したGaAsを透過電子顕微鏡で調べた。このエピタクシー層は機械的に研摩した基板上に成長させたものであり,Shockleyの部分転位で境界づけられた固有の積層欠陥を含んでいる。これらの成長した欠陥の各端付近には,三つの重り合った固有の欠陥があり,焼なましする事によってこれら三層欠陥が消滅する事を示す。さらに消滅の機構を論ずる;写図8表2参17
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